主要包括三部分：主机（含机体和工作台）、对准用双目分离视场显微镜以及多点光源曝光头。
光源:GCQ200Z型超高压水银直流汞灯;
曝光范围：≤120mm;
曝光强度：2~8mW/cm2(可调);
曝光分辨率：≥2μm;
双目分离视场显微镜具有高对准速度、版和片一次性对准能力。
