实用新型专利名称：进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备
发明人：刘忠范、陈召龙、张艳锋、陈旭东
专利号：ZL201621240862.2
授权公告日：2017年5月10日
专利权人：北京大学